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 硅片在經(jīng)過(guò)一系列的加工程序之后需要進(jìn)行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各類(lèi)污染物，并制做能夠減少表面太陽(yáng)光反射的絨面結(jié)構(gòu)（制絨），且清洗的潔凈程度直接影響著電池片的成品率和可靠率。

 制絨是制造晶硅電池的第一道工藝，又稱(chēng)“表面織構(gòu)化”。有效的絨面結(jié)構(gòu)使得入射光在硅片表面多次反射和折 射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高電池的性能。經(jīng)切片、研磨、倒角、拋光等多道工序加工成的硅片，其表面已吸附了各種雜質(zhì)，如顆粒、金屬粒 子、硅粉粉塵及有機(jī)雜質(zhì)，在進(jìn)行擴(kuò)散前需要進(jìn)行清洗，消除各類(lèi)污染物，且清洗的潔凈程度直接影響著電池片的成品率和可靠率。

   硅片在平移、提升運(yùn)動(dòng)中需要整 體考慮機(jī)械臂運(yùn)行穩(wěn)定性，同時(shí)在平穩(wěn)運(yùn)行的前提下盡可能的減少硅片暴露在空氣中的時(shí)間。為了防止平移／提升過(guò)程中由于水分揮 發(fā)在硅片表面產(chǎn)成水紋印，在制絨段的機(jī)械手臂上安裝了可根據(jù)工藝要求設(shè)置的DI水噴淋裝置，當(dāng)料籃從溶液中提出后，噴淋裝置啟動(dòng)，DI水以霧狀方式噴射， 保證了硅片各個(gè)角度都可以噴淋到，尤其是硅片與料籃接觸的部分，經(jīng)過(guò)噴淋后可有效避免出現(xiàn)“邊緣花片”的情況。那么硅片制絨工藝對(duì)于DI水電阻率具體要求通常是15兆歐以上。

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